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オープンシンポジウム
OPEN SYMPOSIUM
第3回日韓合同マイクロ加工シンポジウム
「マイクロファブリケーション研究の最新動向」

〜ミリストラクチャー製造技術・マイクロファブリケーションから
ナノテクノロジーへ〜


3rd Japan-Korea Joint Symposium on Micro-Fabrication on "Advances in Microfabrication Techniques and Research Activities by From Milli-Structure Manufacturing, Micro-fabrication to Nano-Technology"

Tuesday, Feb. 19, 2002 10:30-17:15
Wednesday, Feb. 20, 2002 10:30-12:15
Suzuki Umetaro Hall, RIKEN(The Institute of Physical and Chemical Research)



各種マイクロデバイスである機能性構造体の製造には,一層の超精密化・超平滑化・超微細化を極めた極限加工法の確立が不可欠である.オプトエレクトロニクス,メカトロニクス分野のニーズからは,ホログラム光学素子,立体構造を持つ半導体デバイス,全体スケールが小さく複雑な形状を持つマイクロレンズ,光ファイバ用光学部品や各種マイクロパーツなどがある.光学素子の極限加工技術は,X線ミラーやレーザー光レンズ・ミラー,ひいては中性子光学素子の研究開発分野において,広範に物理・工学の研究分野との接点を持ち,また表面計測用ツールやメカトロニクス用コンポーネントの製作については,広く先端的研究ツールとして強いニーズがある.マイクロコンポーネントは,生物・化学系,医学系の研究分野との接点において,細胞マニピュレータ,顕微受精用ツール,遺伝子操作ツール,蛋白質反応試験用ツールなどの開発へとつながり,最先端の研究領域につながっている.このように,マイクロファブリケーションは多くの研究・工業分野において次世代の加工技術として多くの注目を集め,さらには近年進歩の著しいナノテクノロジーの研究開発にもつながりつつある.
本シンポジウムでは,“マイクロファブリケーションからナノテクノロジーへ”をキーワードに,この分野で積極的に活躍している国内の講師を招き,最新の研究報告を行うと共に,韓国で進められている「ミリストラクチャー製造技術」に関する研究課題,並びに関連研究内容の紹介を合わせて行い,韓国の各研究機関と合同で開催する.



総合司会:大森 整(理研)、伊藤伸英(茨城大)

第1日 2002年2月19日
午前の部(10:30-12:30)
開会の挨拶,活動状況について:
大森 整(理研)
10:30-10:45
卓上切削加工・計測機の開発とマイクロ卓上射出成形特性に関する研究:
潘 燕,大森 整,上原嘉宏,鈴木 亨,林 偉民,片平和俊(理研),吉川研一,大井 豊(新世代加工システム)
10:45-11:20
微細穴あけ加工に関する研究:
B.Y.Joo, S.I.Oh(Seoul National Univ.)
11:20-11:55
振動付与による磁気研磨を利用したマイクロポリッシングについて:
尹 韶輝,進村武男(宇都宮大学)
11:55-12:30
昼食(12:30-13:30)
午後の部1(13:30-15:15)
マイクロせん断加工におけるバリ形成メカニズムに関する研究:
Y.S.Shin, H.Y.Kim, B.H.Kim(Kangwon National Univ.), I.B.Chang, S.I.Oh(Seoul National Univ.)
13:30-14:05
短波長・短パルスレーザーマイクロプロセッシング:
杉岡幸次,緑川克美(理研)
14:05-14:40
極微細ワイヤの押出し加工技術:
K.H.Na, S.S.Kim, D.J.Yun, H.J.Park, T.H.Choi, E.Z.Kim, N.S.Cho(Korea Institute of Industrial Technology)
14:40-15:15
休憩(15:15-15:30)
午後の部2(15:30-17:15)
開超精密多軸マシニングセンタによるマイクロ切削加工:
竹内芳美(電気通信大学)
15:30-16:05
複雑形状マイクロ金型による射出成形技術に関する研究:
S.S.Park, S.W.Jung, J.W.Cho(Korea Electronics Technology Institute), T.J.Je, B.S.Shin(Korea Institute of Machinery and Materials))
16:05-16:40
マイクロメカニカルファブリケーションにおける表面改質効果と表面機能:
片平和俊,大森 整,上原嘉宏(理研),小茂鳥 潤(慶應義塾大学),渡邉 裕(弘前大学)
16:40-17:15
合同マイクロ加工懇談会 17:30-20:00

*   *   *

第2日 2002年2月20日
午前の部(10:30-12:15)
ケミカル・メカニカルマイクロ加工法の展開:
H.D.Jeong, J.M.Park, J.Y.Choi, H.W.Lee(Pusan National Univ.)
10:30-11:05
マイクロフォーミングとそれによる微細加工効果:
早乙女 康典(群馬大学)
11:05-11:40
超音波振動援用による硬脆材料の微細孔加工に関する研究:
H.Z.Choi, S.W.Lee, B.G.Lee(Korea Institute of Industrial Technology)
11:40-12:15
昼食(12:15-13:30)



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