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<第17回/VOL.17>
マイクロファブリケーション研究の最新動向
〜注目される最近のマイクロ・ナノプロセス技術〜
平成17年10月14日(金)13:00〜17:00

Advances in Micro-Fabrication Technologies and Research Activities by
The Latest Approaches of Remarkable Micro-Nano Processings
Friday, Oct. 14, 2005, 13:00 - 17:00




13:00〜13:20
1. 開会の挨拶,主旨説明
13:20〜14:10
2. X線リソグラフィを用いた微細加工技術「LIGAプロセス」
14:10〜15:00
3. 異分野融合プラットフォームによるナノインプリントプロセス開発
15:00〜15:15   休憩
15:15〜15:40
4. フッ化マグネシウムの延性モード切削
15:40〜16:05
5. 金属ガラスのマイクロ切削加工
16:05〜16:50
6. 生体材料のマイクロ切削加工技術
16:50〜17:00
7. シンポジウム総括,次回の予定および閉会の挨拶



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