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<第20回/VOL.20>
マイクロファブリケーション研究の最新動向
〜次世代レーザー、EDM、MEMSにおけるマイクロファブリケーション〜
平成19年5月15日(火)13:00〜17:30

“Advances in Micro-Fabrication Techniques and Research Activities
focused on Micro-fabrication using New Laser, EDM and MEMS"
Friday, May 15, 2007, 13:00 - 17:00




13:00〜13:15
1. 開会の挨拶,主旨説明
13:15〜13:55
2. マイクロ加工用レーザーの最新の動向
-fsレーザー、ファイバーレーザー、ディスクレーザー-
13:55〜14:45
3. EDMによるマイクロSD型の製作
14:45〜15:00     休憩
15:00〜15:30
4. 超精密加工機における振動切削例
15:30〜16:00
5. 技能継承における加工技術のデジタル化と検証
-マイクロ切削現象検証システム-
16:00〜16:50
6. 半導体微細加工技術を中心に作られる高付加価値システム部品(MEMS)
16:50〜17:00
7. シンポジウム総括,閉会の挨拶



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